高精密匀胶机

高精密匀胶机型号：SC200-SE

主要性能指标： 
主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）  
旋涂程序：多存100组程序，每组100步，每个步骤可到0.1秒  
转动速度：0-5,000rpm（更高速可选），考虑重片或大片旋涂安全性限定为5000rpm  
旋涂加速度：0-10,000rpm/sec（更高可选），考虑重片或大片旋涂安全性限定为10000rpm/s  
马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm  
转速调节精度<1rpm，重复性< 1rpm  
工艺时间设定： 0-3,000 sec/step，时间设置精度：0.1sec  
支持wafer尺寸1cm-300mm（12“圆晶）  
旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量） 


 
产品外型尺寸： 
　　　　　613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)